进口真空比率
真空系统度
新工艺
真空系统性系统性
低涡流
105~102Pa
*真空输运*洁净室*打印机自动进纸*真空浓缩罐*真空浓缩(干燥)*真空包装
*干式旋片泵系统*油封旋片泵系统*水封泵系统*柱塞泵系统*干式真空泵系统
中高压气
102~10-1Pa
*真空充气装置*真空干燥*真空除气*真空蒸馏*真空热处理*真空炉*真空冷冻干燥
*多级旋片泵系统*罗茨泵系统*柱塞泵系统*扩散泵系统*干式真空泵系统*吸附泵系统
高蒸空
10-1~10-5pa
*真空镀膜*真空冷冻干燥*真空蒸馏*真空气体置换*真空密封*真空焊接*离子注入
*扩散泵系统*涡轮分子泵系统*吸附泵系统*低温泵系统*离子泵系统
很高蒸空
<10-5Pa
*电子显微镜*等离子体发生器*表面研究*材料分析*原子核研究*离子加速器*物理学研究
*涡轮分子泵系统*低温泵系统*吸附泵*涡轮分子泵系统*低温泵系统*离子泵系统