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具体型号：常领域微波射频等铝离子体（CVD）系统软件

表明：微波射频等铁离子软件

GMPS-2050得应用微波加热等铁离子体（CVD）软件

枝术特征 及使用

● 机整体进行GMG-2050，5kW/2450MHz高保持稳定程控徽波工率源。利用成熟的的输电线路安全性高卫生密闭管理机整体，使该机整体的工作使用时间长，组合件效能样板工程，安全性高卫生可靠的，操作的简洁快捷。

● 微波通信射频通信传送数据系统的由高使用性能微波通信射频通信环行器，销钉调派器，带射线波采样的水负载电阻甚至外部链接衔接波导组合。它以保证射线波对磁控管的不错分隔，并能简单方便地可以调节佳符合，提高微波通信射频通信功效的佳传送数据。

● 投注式微波通信加热化学反应腔可在很宽的执行时间范围内把微波通信加热电机功率藕合给等亚铁正离子体，在等亚铁正离子体释放室中产生密度高计算公式、高电离度、大适用面积不规则可靠的微波通信加热释放。为确保可靠办公, 腔壁适用双重油冷。

● 不定口等阳离子体充放腔带8～18个端口处，是多层水冷散热结构的的大溶量充放腔。

● 设备重要换途： 1）金刚石等三种复合膜的化学式汽相积聚的的研究和中试生产制作加工；2）基片的刻蚀和灰化；3）做为高比热容、宽束亚铁阳离子源；4）低温制冷的效果阳极铁的氧化物的衍生；5）等亚铁阳离子体面操作和一些实验报告生产制作加工。

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